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厦门大学高精度谐振式压力传感器

  • 王凌云
  • 发布时间:2020-05-08 22:35:38
  • 浏览量:61
厦门大学高精度谐振式压力传感器敏感芯体

厦门大学高精度谐振式压力传感器敏感芯体

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      基于微机电系统(MEMS)的硅微压力传感器是最早的商业化产品之一,谐振技术的 MEMS 压力传感器是目前精度最高的压力测量仪器,鉴于其测量精度高、稳定性好、抗干扰性好、数字化输出等优势,因此常被应用于大气数据采集、航天航空、石油化工和压力校准等领域。

     高精度谐振式压力传感器基于MEMS圆片级集成制造工艺,突破深硅腐蚀与刻蚀、片级堆叠键合、高真空圆片级封装和跨层电极一次成型等技术,进行工艺串联及流片;在完成低应力、高Q值MEMS谐振功能验证的基础上,结合基于AGC的自激振荡电路完成传感器封装,该型传感器采用静电激励——压阻检测的工作方式,具有测量精度高,长期稳定性好,抗干扰能力强,响应快,功耗低,体积小,重量轻,可批量生产等的优点  。

图1.高精度谐振式压力传感器

图2.高精度谐振式压力传感器敏感芯体 

      传感器的综合性能测试结果表明:传感器压力测量范围:2kPa至350kPa(绝压),工作温度:-40℃至80℃,圆片级真空封装,敏感芯片品质因数大于2万,补偿后满量程精度和年稳定性优于0.02%FS。其综合性能已接近国际领先水平,具有重大的战略性地位及市场应用潜力。

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